暉盛科技股份有限公司NanoElectronics

暉盛科技股份有限公司掌握特殊優越的技術及堅強的研發團隊，係以研發先進電漿技術為主軸，以尖端技術服務為宗旨。 其經營團隊自1999年以來，先後開發出以感應耦合式電漿（ICP, Inductively Coupling Plasma）技術為主之多項電極與專利，並成功推出各式電漿設備與鍍膜方法，這些產品之應用範圍舉凡印刷電路板業、封裝業、半導體業、光電業、3C業等電子領域外，更逐漸應用於各式民生工業及生醫領域。 期許暉盛科技挾技術之優越性、高品質之技術服務及優良之公司體質，成為亞洲甚至是全世界首屈一指之電漿技術開發團隊。 暉盛科技研發經營團隊數年來致力於先進電漿技術之研發，成功地開發出以感應耦合式電漿技術(ICP)為主之多項電極與專利，並先後推出各式電漿設備與鍍膜產品。 這些產品包括： 印刷電路板產業應用之電漿去膠渣機（Plasma Desmear Machine）、電漿鑽孔機（Plasma Drilling Machine）； 封裝產業應用為主之電漿清洗機（Plasma Cleaner）； LCD/OLED產業應用之ITO製程電漿處理機（ITO Plasma Treatment Machine）； LED前段製程應用之電漿去光阻機（Plasma Asher）； IC半導體產業應用為主之全氟化物電漿分解處理機（PFC Plasma Scrubber）等設備， 以及類鑽碳膜（DLC）、氮化鈦膜（TiN）等各式鍍膜產品，品質已達世界水準，並各具獨特之技術，打破長期以來台灣技術